露光・光システム
照明・演出・光源 Lamp and Light Source
ライフ&サイエンス照明 Life and Science
産業機器・資材 Industrial Machinery
導入事例 Case Studies
光の高エネルギーを応用したマルチライトは、レンズを使用した均一光源として利用でき、回路パターン焼付、ウエハ一括露光など、さまざまな用途に利用されています。UV(365nm、405nm、436nm)3線を主波長とした照射が可能で、超高圧UVランプ(250W、500W)とUV LEDタイプを取り揃えています。また、特殊仕様として超高圧UVランプ1~5kWにも対応します。