露光・光システム
照明・演出・光源 Lamp and Light Source
ライフ&サイエンス照明 Life and Science
産業機器・資材 Industrial Machinery
導入事例 Case Studies
フレネルレンズを搭載した高精度なスクリーン製版用露光装置です。精密製版用として、主にMLCC等の電子部品や太陽電池、メンブレンスイッチ製造などに利用されています。新真空システムでスクリーン枠の歪みを軽減し、さらに配光バランスを向上させました。